砷化镓多晶合成装置及方法

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砷化镓多晶合成装置及方法
申请号:CN202410963295
申请日期:2024-07-18
公开号:CN118497890B
公开日期:2024-11-15
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种砷化镓多晶合成装置及方法,其通过在控制计算机中引入智能化算法和计算机视觉技术,通过对采集到的石英焊线图像进行局部区域的焊线形态特征的提取和捕捉,并将各个局部区域的焊线形态特征进行全局一致性表达来综合表征石英管的开口密封状态,进而基于此来实现密封质量的智能化检测。
技术关键词
焊线 砷化镓多晶 形态 多尺度池化 石英管 序列 空洞卷积神经网络 特征提取模块 高纯砷 通道 氮化硼 图像接收模块 智能化算法 计算机视觉技术 电加热 特征提取单元