用于外延反应器的晶片装载和卸载系统以及外延反应器

申请号：CN202410994374

申请日期：2024-07-24

公开号：CN119419149A

公开日期：2025-02-11

类型：发明专利

摘要

一种用于将晶片(2)装载和卸载到外延反应器(4)的反应室(3)中的系统(1)，该系统(1)包括搬运机器人(5)；线性致动器(6)，其沿着平移轴线(7)延伸，其中搬运机器人(5)配置成将晶片(2)转移到线性致动器(6)，并且其中线性致动器(6)配置成从搬运机器人(5)接收晶片(2)并且沿着平移轴线(7)移动晶片(2)以便将晶片(2)放置在反应室(3)内。

技术关键词

线性致动器搬运机器人外延反应器冷却站末端执行器提升系统行程卸载系统引导传送装置轨道铰接臂手柄镜像液压框架运动