剪切散斑干涉近表面缺陷的检测误差剔除方法及装置

本发明公开剪切散斑干涉近表面缺陷的检测误差剔除方法及装置，依次通过设置剪切量大小、旋转调整剪切方向、旋转调整狭缝光阑、动态加载和采集光强图、计算和筛选剪切相位图、定位异常条纹、汇总各方向检测结果、计算缺陷分布的步骤，使用不同剪切方向下的剪切相位图作为缺陷检测对象，使剪切量引入的缺陷检测误差沿着不同方向分布，通过对各剪切方向测量结果取交集的方式剔除剪切量引入的缺陷检测误差，实现材料近表面缺陷的高精度检测，能无需剪切量标定和补偿，直接准确的剔除剪切量引入的缺陷检测误差，获取被测件缺陷分布。整个过程方便快捷，并且检测门槛低。