一种具有散热和电磁屏蔽功能的封装结构及封装方法

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一种具有散热和电磁屏蔽功能的封装结构及封装方法
申请号:CN202411018538
申请日期:2024-07-29
公开号:CN118553698B
公开日期:2024-10-11
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种具有散热和电磁屏蔽功能的封装结构及封装方法,该封装方法是在重构晶圆的上表面形成第一散热金属层,第一散热金属层完全覆盖芯片背面和侧面;制备与第一散热金属层连接的无电性连接功能的散热区;后在顶层再布线金属层图形开口处形成第二散热金属层;切割后形成四边无引脚的单颗芯片封装结构,该封装结构具有散热和电磁屏蔽功能。本发明通过多层散热金属层辅助封装结构进行散热,提高了封装结构在工作过程中的散热效果;另外,在塑封层与芯片背面及侧面接触面之间增加一层散热金属层还能在芯片之间起到抗电磁干扰的作用。
技术关键词
电磁屏蔽功能 芯片封装结构 布线金属层 封装方法 电性连接功能 晶圆 抗电磁干扰 重构 电磁屏蔽能力 导热界面材料 PVD工艺 涂覆光刻胶 载体 涂覆工艺 互连结构 电镀工艺