集成光学芯片及其制造方法、光学陀螺仪

本申请提供了一种集成光学芯片及其制造方法、光学陀螺仪。集成光学芯片用于光学陀螺仪，集成光学芯片包括基底、光波导器件层和调制层，光波导器件层设置于基底，光波导器件层包括第一耦合器、偏振分束器、多个第二耦合器和引光槽。调制层设置于光波导器件层远离基底的一侧，调制层包括多个相位调制器，相位调制器的数量与第二耦合器的数量相对应，多个相位调制器与多个第二耦合器一一对应设置。根据本申请能够有效提高光学陀螺仪的集成度、精度和稳定性，同时降低系统损耗、装配复杂度和成本。