包括盖层的热导率传感器

一种用于测量气体的浓度的热导率传感器，该传感器包括：基板部分；包括介电膜的介电层，其中，介电膜设置有加热器；基板部分和介电膜之间的第一间隙，其中，主介电膜位于第一主间隙上方；以及微机加工的盖层；位于盖层和介电膜之间的第二间隙。还描述了一种制造热导率传感器的方法。