半导体器件、半导体结构及其制造方法

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半导体器件、半导体结构及其制造方法
申请号:CN202411077763
申请日期:2024-08-07
公开号:CN119069476A
公开日期:2024-12-03
类型:发明专利
摘要
本发明描述了一种具有用于芯片识别的识别器件的半导体器件、半导体结构,还描述了一种制造半导体结构的方法。半导体结构包括:第一沟道结构和第二沟道结构,位于衬底上;栅极结构,位于第一沟道结构和第二沟道结构上;外延结构,位于第一沟道结构和第二沟道结构上;以及第一源极/漏极(S/D)接触件结构,位于第一沟道结构上。外延结构位于栅极结构的第一侧,并且第一S/D接触件结构位于栅极结构的与第一侧相对的第二侧。半导体结构还包括第二S/D接触件结构,位于第二沟道结构上。第二S/D接触件结构位于栅极结构的第二侧。
技术关键词
沟道结构 接触件结构 栅极结构 半导体结构 外延结构 半导体器件 晶体管 衬底 掺杂剂 芯片