一种基于三维打印的悬浮微环谐振器及其制备方法

本发明涉及光学器件技术领域，更具体地，涉及一种基于三维打印的悬浮微环谐振器及其制备方法。悬浮微环谐振器，由下至上依次包括衬底、底座以及器件主体，所述器件主体包括微环谐振腔以及与所述微环谐振腔进行耦合的耦合波导；所述微环谐振腔和耦合波导均通过支撑件悬浮在所述底座上，构成悬浮的回音壁模式，以提高机械共振效应。悬浮微环谐振器在光学微腔中利用其机械共振效应可以增强微腔对超声波的机械响应，从而进一步提高灵敏度。使用悬浮的回音壁模式微环腔可以提升机械共振效应，进而提升超声灵敏度。此外，悬浮微环谐振器的设计减少了与支撑结构或衬底的接触，从而降低了热和机械噪声的影响，进一步提高了传感器的灵敏度和分辨率。