基于随机编码的叠层相干衍射成像设备、系统及方法

本发明提出了一种基于随机编码的叠层相干衍射成像设备、系统及方法，方法包括：光源经过扩束准直后形成平面波出射到孔径光阑上形成照明探针，照明探针经过4f系统成像到固定在电动位移台掩膜板上，电动位移台进行位移扫描形成一系列经过编码调制的探针光斑，光斑经过衍射传播照明成像物体，再经过衍射传播到探测器靶面的位置上，由SCMOS相机收集一系列是衍射图案，之后利用基于菲涅尔衍射的方法以及基于未知编码的ePIE算法进行精确衍射模型的构建。之后再进行亚像素叠层扫描得到一系列衍射图后代入到基于未知编码的超分辨ePIE算法进行重建，最终得到5.52um的重建分辨率。本发明在编码未知的情况下利用亚像素叠层扫描实现了亚像素超分辨成像。