摘要
本发明涉及一种磨损自恢复快响应的热学传感器及其制备方法,属于传感器件技术领域。该传感器包括热学敏感芯片,其基底为绝缘耐温陶瓷,基底正反两面分别布置有采用两种异种合金或金属的第一金属层和第二金属层。温度和热流敏感电路由金属条组成,金属条在位置上沿基底周边分布,形成热电偶和热电堆。金属条通过丝网印刷技术制备,并通过固化、烧结得到。电极连接金属条尾部结点,用于输出电信号。本发明的传感器具有磨损自恢复能力和快速响应特性,适用于航空航天、军事和汽车制造等领域,特别适合在磨削环境下进行温度、热流和磨损量的检测。