摘要
本发明提供了一种闪存数据保持特性的测试方法。烘烤前进行读操作,首先按第一电流边界大筛选淘汰掉擦除和编程不合格的存储单元;以及烘烤预设时间后通过读操作按第二电流边界大筛选淘汰掉数据保持特性不合格的存储单元的基础上,结合了烘烤前后将大筛选不淘汰的存储单元按电流大小划分到不同的电流触发档位区间,计算同一存储单元烘烤前后触发档位的差值,若差值≥预设档位偏移量,则判断数据保持特性不合格;若差值<预设档位偏移量,则判断合格。通过烘烤前后边界大筛选结合电流触发档位区间划分使测试更加精准。在保证良率不受损失的情况下,更有效在晶圆测试阶段筛选出数据保持特性相对较差的芯片,提高闪存产品质量。