一种拉晶晶棒直径测量方法及应用其的测量装置

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一种拉晶晶棒直径测量方法及应用其的测量装置
申请号:CN202411385502
申请日期:2024-09-30
公开号:CN119268574A
公开日期:2025-01-07
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种拉晶晶棒直径测量方法及应用其的测量装置,解决现有技术存在的基于人工观察或简单的机械测量致使测量精度低、操作复杂、易受人为因素影响等问题,采用的技术方案:采集目标图像;处理目标图像,生成目标图像灰度图;分析目标图像灰度图,找到目标图像的轮廓边缘;将轮廓边缘生成目标图像的轮廓点集;基于所述轮廓点集拟合出目标圆;根据所述目标圆得到引晶直径。其效果:通过设置于拉晶炉内的摄像头捕获引晶过程的实时图像,并利用图像处理技术提取引晶界面的轮廓线,实现对引晶直径的精确测量;实现了自动化测量,降低了对操作人员的依赖程度,提高了生成效率,减少操作人员与高温、高压等危险环境的直接接触,降低了安全风险。
技术关键词
直径测量方法 轮廓边缘 边缘检测模型 熔硅液面 图像识别模块 控制器装置 图像获取模块 图像处理器 建立空间坐标系 三角形 像素点 图像识别模型 数据分析单元 图像处理单元 控制器单元 图像处理技术 存储器单元 籽晶