一种压电超声自清洁微流控芯片

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一种压电超声自清洁微流控芯片
申请号:CN202411438791
申请日期:2024-10-15
公开号:CN119076072B
公开日期:2025-09-23
类型:发明专利
摘要
一种压电超声自清洁微流控芯片,属于微流控技术领域。本发明包括压电超声波发生装置、微流控芯片以及清洗液,微流控芯片固定装在压电超声波发生装置上,微流控芯片内部设置有微通道,或者微流控芯片底部设有的微结构与压电超声波发生装置通过不可逆封接形成微通道;微流控芯片上表面开设有至少一个与微通道连通的液体入口和液体出口,所述清洗液通过液体入口进入微通道,沿着微通道流动,并通过液体出口排出。本发明通过压电超声波发生装置产生高频超声表面波,耦合进入微流控芯片的微通道内,在清洗液内部形成声流效应,能够实现微流控芯片内部尤其是转角区滞留物的有效清除,提高了微流控芯片的清洁效率和可控性。
技术关键词
微流控芯片 压电超声波 基底 压电陶瓷片 清洗液 通道 压电高分子材料 微结构 FTO导电玻璃 叉指电极 黄铜 液体 吸声泡沫 微流控技术 高频超声 压电薄膜 压电材料 刻蚀工艺 入口
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