多晶硅硅棒自动拆炉的取棒夹具及机器人

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多晶硅硅棒自动拆炉的取棒夹具及机器人
申请号:CN202411441329
申请日期:2024-10-16
公开号:CN118952290B
公开日期:2024-12-13
类型:发明专利
摘要
本发明涉及还原炉辅助设备技术领域,具体公开了一种多晶硅硅棒自动拆炉的取棒夹具及机器人,其中的取棒夹具包括夹具固定架,安装于夹具固定架上部的顶部压持气缸组件,至少两套安装于夹具固定架上的、且位于顶部压持气缸组件下方的左侧夹持机构,以及至少两套安装于夹具固定架上的、与左侧夹持机构间隔布置的右侧夹持机构;所述左侧夹持机构及右侧夹持机构分别用于夹持硅棒的两侧立柱;所述右侧夹持机构与左侧夹持机构的结构相同,且夹持动作相对称。本发明采用前后夹取方式,取棒夹具的夹持部位外形宽度小于硅棒外宽,解决了自动夹取中间硅棒无法夹持的难题。
技术关键词
多晶硅硅棒 夹具固定架 夹持机构 气缸组件 底座装置 机器人 伺服电机 配重气缸 配重底板 夹板 可调支脚 标定相机 活塞杆 气动锁紧装置 滑动座 配重机构 相机标定 配重组件 缸体