光电探测器晶圆的自动耦合方法及其装置

本发明公开了一种光电探测器晶圆的自动耦合方法及其装置，采用视觉识别技术实现对待测晶圆芯片耦合的粗定位，接着以实时采集的光功率计数值为搜索信号，结合广度优先搜索算法对信号实时分析，对三维空间实施路径规划确定搜索路径，并通过软件控制系统对三轴精密平台实施运动路径的精密控制，最后遍历每个路径位置下的光功率值信号找到最大值信号，并移动至此位置即为最佳耦合位置，以实现在有限空间内的晶圆自动耦合。本发明的有益效果是：能提高晶圆耦合的自动化程度，减少人工操作成本和时间成本，同时提高晶圆耦合的精度和稳定性，减少因人为操作误差而引起的不良影响。