一种功率半导体器件外观检测方法、装置及设备

本发明提供了一种功率半导体器件外观检测方法，包括以下步骤：步骤一、对功率半导体器件进行表面清洁处理；步骤二、功率半导体器件送往视觉检测系统，调整光源强度和角度，使用视觉检测系统的相机和镜头对器件进行图像采集；步骤三、对采集的图像进行处理和分析，判断器件是否合格。本发明通过视觉检测系统对功率半导体器件进行外观检测，并根据检测结果并筛分合格产品、不良产品和厚度超标产品，无需工作人员手动检测半导体功率器件的缺陷，减轻工作人员的工作量，提高了检测精度和检测效率。通过X射线对厚度超标产品进行缺陷检测，避免产品内部缺陷出现误判或漏判的情况，提高产品质量。