还原炉炉内工况确定方法及装置、检测模型训练方法及装置
申请号:CN202411510685
申请日期:2024-10-23
公开号:CN119478819A
公开日期:2025-02-18
类型:发明专利
摘要
本申请公开一种还原炉炉内工况确定方法及装置、检测模型训练方法及装置,涉及多晶硅生产技术领域。该还原炉炉内工况确定方法包括:获取目标还原炉在第一时刻下的第一还原炉炉内图像;采用目标检测模型对第一还原炉炉内图像进行检测,得到检测结果;根据检测结果,确定目标还原炉在第二时刻下的目标炉内工况。根据本申请实施例,所述方法能够提前预判目标还原炉的目标炉内工况,并在还原炉内还未出现异常时通过及时调整还原炉炉内工况,最终可以有效提高多晶硅生产质量。
技术关键词
炉内工况
温度检测模型
还原炉底座
置信度阈值
像素点
硅棒
检测模型训练方法
训练集
图像嵌入
环境温度值
图像编码器
模块
前馈神经网络
序列
解码器
注意力机制
掩膜
编码器结构