一种芯片表面缺陷检测方法

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一种芯片表面缺陷检测方法
申请号:CN202411520241
申请日期:2024-10-29
公开号:CN119477834A
公开日期:2025-02-18
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种芯片表面缺陷检测方法,包括对芯片进行定位得到待检测区域,对待检测区域进行裁剪得到待检测图像;终端获取图像路径,向外观缺陷检测系统发出检测请求;将图像批量作为输入量输入至芯片外观缺陷检测系统,开启多线程检测,对一张图像进行完整检测为一个线程,同时处理多张图像;将得到的结果返回终端并可视化。本发明解决了现有的芯片缺陷检测方法造价过高、不稳定、效率低的问题。
技术关键词
外观缺陷检测系统 终端获取图像 导线 缺陷位置信息 晶圆 芯片缺陷检测方法 模板 触点 检测网络模型 反三角函数 多线程 矫正 次品 批量 标记