一种调制器的老化装置及调制器可靠性测试系统

本发明涉及芯片可靠性测试领域，具体涉及一种调制器的老化装置及调制器可靠性测试系统。调制器的老化装置包括：测试板用于承载多个所述调制器的测试芯片。光加载单元用于向每个所述测试芯片输入额定功率的激光。频率合成器用于产生周期交流射频信号。功分器单元与所述测试芯片相连，且所述功分器单元用于将所述频率合成器产生的单路射频信号分成多路射频电信号，并将每一路射频电信号输入一个所述测试芯片。本申请通过在调制器的老化装置中设置频率合成器使得老化装置兼顾光输入和射频驱动功能。且利用功分器单元的级联的形式实现对射频信号分路以同时对多个测试芯片输入等幅的射频信号，进而提高了老化测试效率，满足大批量的测试芯片老化测试。