切割装置以及切割方法

AITNT-国内领先的一站式人工智能新闻资讯网站
# 热门搜索 #
切割装置以及切割方法
申请号:CN202411525667
申请日期:2024-10-29
公开号:CN119115255A
公开日期:2024-12-13
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种切割装置以及切割方法,切割装置包括:承载台,用于承载基底,所述基底具有多个器件区以及连接相邻所述器件区的切割道区;激光器,用于向所述基底的切割道区发射激光,以切割所述基底;计算单元,用于根据所述器件区和所述切割道区的设计尺寸,计算所有所述切割道区的位置坐标,以得到切割路径坐标;移动单元,用于控制所述承载台沿着所述切割路径坐标移动。本发明的技术方案使得能够切割获得任意形状的异形芯片。
技术关键词
切割方法 切割装置 基底 承载台 衬底 移动单元 激光器 绝缘 介质 多边形 刻蚀工艺 椭圆形 三角形 尺寸 坐标系 频率 芯片
系统为您推荐了相关专利信息
加速器设备 图形处理器 节流器 标识符 数据处理系统
欧姆电极 阵列 定位标记 扫描隧道显微镜 基团
肖特基二极管 鲁棒性 三极管 P型衬底 保护环
传感界面 集成光学 光纤 生物传感装置 反射镜
光互连系统 超表面 光纤阵列 数据中心拓扑 波束