切割装置以及切割方法
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切割装置以及切割方法
申请号:
CN202411525667
申请日期:
2024-10-29
公开号:
CN119115255A
公开日期:
2024-12-13
类型:
发明专利
摘要
本发明提供一种切割装置以及切割方法,切割装置包括:承载台,用于承载基底,所述基底具有多个器件区以及连接相邻所述器件区的切割道区;激光器,用于向所述基底的切割道区发射激光,以切割所述基底;计算单元,用于根据所述器件区和所述切割道区的设计尺寸,计算所有所述切割道区的位置坐标,以得到切割路径坐标;移动单元,用于控制所述承载台沿着所述切割路径坐标移动。本发明的技术方案使得能够切割获得任意形状的异形芯片。
技术关键词
切割方法
切割装置
基底
承载台
衬底
移动单元
激光器
绝缘
介质
多边形
刻蚀工艺
椭圆形
三角形
尺寸
坐标系
频率
芯片
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