基板处理装置以及基板处理方法

申请号：CN202411529485

申请日期：2024-10-30

公开号：CN120033107A

公开日期：2025-05-23

类型：发明专利

摘要

本发明可以涉及一种基板处理装置以及基板处理方法，包括：容器更换装置，将在半导体生产过程中产生的回收对象物装载到基准值以上的饱和回收容器更换为空回收容器；以及容器移送装置，从所述容器更换装置接收至少一个所述饱和回收容器而移送至可以废弃所述回收对象物的废弃位置或者临时待机位置。

技术关键词

更换装置移送装置容纳装置基板容器固定装置对象装载量致动器半导体封装件感测装置待机分类装置载台翻转装置计数传感器漏斗形状机械臂缓冲部件