一种晶圆清洗机及晶圆清洗方法

本发明公开了一种晶圆清洗机及晶圆清洗方法，包括晶圆上下料工位、晶圆清洗室，还包括位于所述上下料工位与所述晶圆清洗室之间的晶圆翻转装置，所述晶圆翻转装置两侧设置有晶圆暂存装置，所述晶圆清洗室包括正面清洗室及背面清洗室，所述正面清洗室及所述背面清洗室之间设置有晶圆传送机械臂，所述晶圆传送机械臂用于在晶圆清洗室与所述晶圆翻转装置及所述晶圆暂存装置之间传送晶圆。本发明的上下料工位与晶圆清洗室之间设置晶圆翻转装置，晶圆传送机械臂用于在晶圆清洗室与晶圆翻转装置及晶圆暂存装置之间传送晶圆，在较小的空间内，优化晶圆翻转、清洗动作过程中内部空间的占有量，提高了上下料及清洗效率。