一种晶圆的芯粒测试数据监控方法、装置、电子设备及存储介质

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一种晶圆的芯粒测试数据监控方法、装置、电子设备及存储介质
申请号:CN202411561239
申请日期:2024-11-04
公开号:CN119576686A
公开日期:2025-03-07
类型:发明专利
摘要
本申请提供了一种晶圆的芯粒测试数据监控方法、装置、电子设备及存储介质,包括:芯粒接受测试等待站点接收芯粒接受测试站点发送的目标批次下待检测晶圆的芯粒测试数据文件,并对芯粒测试数据文件进行文件解析确定出目标批次下待检测晶圆的多个芯粒测试数据;在芯粒接受测试等待站点处基于预设的默认配置规则组、客制化规则组以及配置产品参数列表中的至少一种对多个芯粒测试数据进行规则判断,确定出目标批次下待检测晶圆的多个判断结果;若目标批次下待检测晶圆的任一判断结果为失败,则基于的默认配置规则组以及客制化规则组所对应的决策信息确定出所述目标批次下所述待检测晶圆的下一步执行动作,从而提高晶圆的芯粒测试数据的管控精度。
技术关键词
监控方法 站点 机器可读指令 列表 监控装置 电子设备 参数 处理器 可读存储介质 数值 决策 存储器 晶圆 模块 检测点 通知 计算机 良率 芯片 精度