一种倒装芯片互连可靠性测试方法和计算机设备

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一种倒装芯片互连可靠性测试方法和计算机设备
申请号:CN202411570987
申请日期:2024-11-06
公开号:CN119064768B
公开日期:2025-01-07
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种倒装芯片互连可靠性测试方法和计算机设备,所述方法针对需进行可靠性测试评估的倒装芯片制作测试芯片,测试芯片采用与实际芯片相同的封装工艺,通过多路独立的菊花链式焊点结构实现芯片与基板互连,通过芯片端和基板端内置测温元件实现焊点温度监测,通过芯片端和基板端内置加热元件实现焊点温度应力加载,通过外置电流应力加载实现芯片的温度控制以及互连焊点的电流加载进而可实现高温、功率循环、电迁移以及热迁移等可靠性测试。本发明能够有效解决传统方案中需搭载多套温度控制设备、需大量测试样品,热迁移测试过程中热梯度差难以量化评估,以及电迁移测试过程焊点实际温度高于温度控制设备设置的温度等问题。
技术关键词
测温元件 菊花链式 可靠性测试方法 基板 倒装芯片 温度控制设备 数字万用表 计算机设备 加热 电流源 焊点结构 计算机程序产品 处理器 封装工艺 测试样品 端口