吸嘴调平模块、待键合件的拾取头、键合方法及存储介质

本发明提供了一种吸嘴调平模块、一种待键合件的拾取头、一种键合方法及一种计算机可读存储介质。所述吸嘴调平模块包括柔性板结构及多个位移传感器。所述柔性板结构安装于拾取头的吸嘴的下方，其上分布有多个气孔，以根据流经各所述气孔的气流产生的作用力差异而发生位移。所述多个位移传感器设于所述多个气孔中，分别用于检测对应气孔的位移量，以表征所述吸嘴与待键合件之间的平行度。本发明可以通过利用设有多个气孔的柔性板结构和位移传感器来检测吸嘴与待键合件的平行度，用于支持在对待键合件进行拾取的过程中，实时地对拾取头进行调平，从而避免多次键合导致的平行度改变的问题，以提升键合精度。