摘要
本发明涉及半导体芯片技术领域,公开了一种自适应条件的半导体芯片阵列测试系统,该系统包括:PC端、半导体器件阵列和控制模块,PC端和半导体器件阵列分别与控制模块相连;控制模块包括采集单元、选通阵列单元、阻抗调整单元、测试单元;采集单元用于采集半导体器件信号,并根据半导体器件信号确定选通模式;选通阵列单元用于根据选通模式确定切换速度和导通电阻;阻抗调整单元用于调整通路阻值至目标阻值;测试单元用于对半导体器件阵列的待测器件施加激励,并控制采集单元采集待测试器件的响应信号。本发明显著提升了测试的效率和精度。