一种多芯片堆叠的封装结构及其制备方法

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一种多芯片堆叠的封装结构及其制备方法
申请号:CN202411588853
申请日期:2024-11-08
公开号:CN119092513A
公开日期:2024-12-06
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种多芯片堆叠的封装结构及其制备方法,该封装结构包括载体框架、上叠芯片组、下叠芯片组、塑封层和重布线层,载体框架包括至少一个导电柱和芯片贴装区,上叠芯片组和下叠芯片组纵向堆叠在芯片贴装区,芯片I/O接口设置在两侧边缘,塑封层包覆载体框架、上叠芯片组和下叠芯片组;在塑封层的顶面和底面分别设置至少一层重布线层,通过导电柱实现重布线层、上叠芯片组和下叠芯片组的电气连接。本发明还公开了上述封装结构的制备方法。本发明采用的3D Fanout多芯片封装结构,可以实现多个芯片的立体堆叠,从而大大提高了封装密度,相比现有的二维封装方式,可以节省更多的空间,实现更高密度的封装。
技术关键词
载体框架 重布线层 多芯片 导电柱 芯片封装结构 接口 涂覆光刻胶 芯片堆叠 互连结构 粘贴膜 电气 掩膜 磨片 激光 高密度 焊盘