一种洁净室压差自适应控制方法、装置、设备及介质

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一种洁净室压差自适应控制方法、装置、设备及介质
申请号:CN202411612091
申请日期:2024-11-13
公开号:CN119123611B
公开日期:2025-01-03
类型:发明专利
摘要
本申请涉及压差控制领域,尤其是涉一种洁净室压差自适应控制方法、装置、设备及介质。方法包括:本申请通过实时获取送风量数据和回风量数据,能够准确反映洁净室当前的空气流动状态,基于这些数据确定的最大压差风量,可以更精确地反映洁净室内部压力变化的需求。通过建立基础压差风量波动值对应的第一漏风量波动函数,也即通过考虑洁净室密封情况造成的漏风量,能够考虑并适应洁净室内部可能存在的微小压力波动,从而提高洁净室压差控制的精确性。
技术关键词
漏风量 洁净室 灰色预测模型 序列 缝隙 周期 数据 基础 排风装置 电子设备 参数 计算机 关系 可读存储介质 存储器 控制模块 处理器
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