一种碳化硅衬底抛光片坑点缺陷的检测方法

本发明提供一种碳化硅衬底抛光片坑点缺陷的检测方法，包括上料，机械传送、寻边、OCR识别、传送至检测台、第一次反射光源检测和透射光源检测、第二次反射光源检测和数据分析；第一次光源反射检测包括：使用反射光源照射碳化硅衬底抛光片的上表面，收集反射光信号和散射光信号；透射光源检测包括：使用透射光经过起偏器从碳化硅衬底抛光面的下表面入射、上表面射出后经过检偏器，收集透射光信号；第二次反射光源检测：将碳化硅衬底抛光片的下表面遮挡，使光线无法穿透，然后使用反射光源照射碳化硅衬底抛光片的上表面，收集反射光信号和散射光信号。本发明中的检测方法能够提高坑点缺陷检测的精度、效率和可靠性。