一种石墨件性能检测方法、系统及电子设备

本申请提供了一种石墨件性能检测方法、系统及电子设备，涉及半导体生产设备质量控制技术领域，该方法包括：利用传感器阵列对目标石墨件进行多维度检测，以获取目标石墨件的多维检测数据；利用视觉检测单元获取目标石墨件的表面图像，并利用智能图像分析模型对表面图像进行分析，以提取石墨表面损伤特征；将石墨表面损伤特征与多维检测数据融合，获得综合特征集，利用石墨件性能检测模型对综合特征集进行评估，以获得目标石墨件的性能检测结果。通过采用上述石墨件性能检测方法、系统及电子设备，解决了现有石墨件性能检测过程中，检测效率及检测准确度低的问题。