一种集成时分复用与频率复用方案的多路光学传感器

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一种集成时分复用与频率复用方案的多路光学传感器
申请号:CN202411670734
申请日期:2024-11-21
公开号:CN119573781B
公开日期:2025-08-15
类型:发明专利
摘要
本发明属于光学传感器技术领域,具体涉及一种集成时分复用与频率复用方案的多路光学传感器,包括由多组时分复用传感结构单元组成的传感芯片,每组时分复用传感结构单元由多组级联双环结构组成,传感芯片内嵌在微流通道器件中;基于振镜的扫描输入光学系统用于将光源依次输入到多组时分复用传感结构单元的输入端;多路信号发生器与传感芯片电连接,用于对级联双环结构施加不同频率的谐振电压信号,在频域上区分多组级联双环结构输出的光信号;光电探测器用于接收级联双环结构输出的光信号;光电探测器与信号接收处理系统电连接,用于信号的解调与分析。本发明使用时分复用与频率复用相结合的方式,提高了芯片的集成度及多路传感探测的可拓展性。
技术关键词
MEMS扫描振镜 时分复用 传感芯片 双环结构 多路信号发生器 激光准直镜 结构单元 光栅耦合器 光电探测器 Y分支结构 凹面镜 级联 可调谐激光器 光学系统 频率 微流通道 光学传感器技术