一种基于金属光栅结构的表面等离子体共振全息成像分辨率改善方法

本发明公开了一种基于金属光栅结构的表面等离子体共振全息成像分辨率改善方法。针对表面等离子体波的传播特点构建光栅激发结构模型，利用布拉格条件和有效介质理论估计光栅的平面结构，借助严格耦合波分析方法计算激发结构中反射光波的强度和相位响应，从而获得不同光栅结构对应的表面等离子体共振响应曲线。整体评估传感性能与成像分辨率提升情况，选取平衡的光栅结构参数保证传感性能并改善成像分辨率。最后设计基于光栅结构的表面等离子体共振芯片，改善表面等离子体共振全息显微成像系统的分辨率。