一种嵌入式六轴惯性感测系统级封装结构及其装配方法

本发明涉及一种嵌入式六轴惯性感测系统级封装结构及其装配方法。该封装结构包括异形多腔体多层布线陶瓷块；异形多腔体多层布线陶瓷块，用于实现MEMS传感器单元和数据处理电路的集成安装。异形多腔体多层布线陶瓷块包括陶瓷块；陶瓷块上嵌入安装有多个MEMS传感器单元；陶瓷块上开设有用于固定MEMS传感器单元的腔体单元；陶瓷块的顶部设置有数据处理电路安装区域。本发明在减小封装体积和重量的同时，能够保证良好的感测系统测量精度和可靠性，同时可以形成可用于安装在导航和飞控SiP系统中的标准的惯性感测功能单元。