一种CGH和反射镜综合检测凸非球面的系统及方法

本发明公开了一种CGH和反射镜综合检测凸非球面的系统及方法。本发明基于CGH和辅助反射镜结合子孔径拼接技术提出了一种面向大口径凸非球面的高精度检测装置及方法，本发明中仅需辅助反射镜的一次反射，降低了对辅助反射镜面形精度的要求，提高了反射镜制造的可能性。辅助反射镜倾斜放置避免了全口径光学元件中心区域无法测量的问题，传统Hindle球辅助检测时需要中心开孔的问题。并且辅助反射镜可以是平面反射镜能够避免辅助hindle球难以制作的问题。除此之外，采用子孔径拼接技术减小了CGH和辅助反射镜的制作难度。本发明为大口径凸非球面的高精度检测提供了一种易于操作的检测装置和数据处理方法。