键合系统中双相机精密定位方法、装置、设备及存储介质

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键合系统中双相机精密定位方法、装置、设备及存储介质
申请号:CN202411718791
申请日期:2024-11-28
公开号:CN119542233B
公开日期:2025-08-05
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种键合系统中双相机精密定位方法、装置、设备及存储介质,其中,方法为通过第一相机和第二相机分别采集并持续监控键合工具和键合界面,得到键合图像;对键合图像进行图像处理并提取特征,获取键合工具位置、姿态以及键合区域的几何特征;从而通过预先构建的键合路径规划模型获取键合工具的当前移动路径,并输出控制键合工具按照当前移动路径进行芯片键合的指令;利用所述第一相机与所述第二相机,对键合工具按照当前移动路径,执行键合操作的键合过程进行实时监控,以实现复杂温度环境的键合系统中,通过双相机进行高精度、高效率定位,完成芯片键合的目的。
技术关键词
键合工具 精密定位方法 相机 键合系统 精密定位装置 特征点 规划 姿态偏差 深度神经网络算法 界面 芯片键合设备 坐标变换方法 姿态估计算法 指令 实时监测数据 图像处理算法