一种半导体设备智能电磁干扰抑制系统

本发明涉及半导体设备技术领域，更具体地说，涉及一种半导体设备智能电磁干扰抑制系统。本发明包括传感器网络，安装于半导体设备的电磁干扰关键位置，实时监测并采集半导体设备的电磁数据并发送至中央数据处理模块；中央数据处理模块，对接收的电磁数据进行分析，基于机器学习算法的干扰源定位模型进行干扰源识别与定位，对干扰源进行行为预测分析，生成自适应干扰抑制策略，发送干扰抑制指令；反馈控制模块，基于干扰抑制指令，执行反馈控制动作，实现对半导体设备多层次电磁干扰的实时抑制并反馈抑制效果。本发明实现电磁干扰的实时有效抑制，显著提升了半导体设备的工艺稳定性及控制精度。