基于改进ResNet18的晶圆图缺陷模式识别方法及相关装置

本发明公开了一种基于改进ResNet18的晶圆图缺陷模式识别方法及相关装置，包括：获取待识别的晶圆图；将所述待识别的晶圆图输入预先训练好的晶圆图缺陷模式识别模型，输出识别结果；其中，所述晶圆图缺陷模式识别模型是利用训练数据训练改进的ResNet18得到的，所述训练数据包括不同缺陷模式的晶圆图及其对应的缺陷模式标签；所述改进的ResNet18包括选择性卷积核模块，利用所述选择性卷积核模块替换ResNet18骨干网络的第一卷积层，所述选择性卷积核模块用于自适应提取晶圆图的不同尺寸缺陷特征。本发明的目的在于增强对晶圆图中不同尺寸和类型缺陷特征的提取能力，从而提高晶圆缺陷模式识别的准确性。