用于仿生体的触觉感知装置

提供了用于仿生体的触觉感知装置，包括半导体晶片与触觉感知结构；所述触觉感知结构包括力传递结构与触觉感知微纳结构阵列，所述触觉感知微纳结构阵列包括多个触觉感知微纳结构；所述半导体晶片的顶层金属层形成多个金属区域，所述多个金属区域的多个第一金属区域作为电极阵列，所述电极阵列包括多个电极；所述多个电极的每个电极对应于所述多个触觉感知微纳结构之一；所述力传递结构具有第一轮廓，所述第一轮廓使得所述触觉感知装置具有仿生体或仿生体的局部的形状；所述多个电极与所述触觉感知结构形成多个第一电容。