一种单片集成F-P腔光力学加速度传感器及传感方法

本发明涉及集成腔光力学加速度传感器技术领域，特别涉及一种单片集成F‑P腔光力学加速度传感器及传感方法，包括：驱动电路驱动片上光源发出宽带光，宽带光经输入光栅进入硅基微环，经硅基微环滤波后输出窄带光；窄带光通过硅基耦合器耦合进入F‑P腔光力传感探头；载体平台接收到加速度信号后经F‑P腔光力传感探头对窄带光信号进行调制，携带调制信号的反射光经硅基耦合器和输出光栅进入片上探测器，片上探测器将光信号转化为电信号，经放大、解调后获得载体平台初始加速度。本发明提供的传感器及传感方法兼具高灵敏度、微型化、芯片化及低成本等优势，为新型高性能集成腔光力学加速度传感器的研制提供新的技术思路。