一种气体驱动单竖梁支撑MEMS微镜结构及其加工工艺

本发明涉及微镜技术领域，尤其为一种气体驱动单竖梁支撑MEMS微镜结构及其加工工艺，包括第一硅片、第二硅片、第三硅片、微镜反射镜面以及支撑梁；第一硅片键合在第二硅片的一面；第二硅片上开设有用于微镜反射镜面活动的活动腔体；第三硅片键合在第二硅片的另一面，并且第三硅片和第二硅片上具有与活动腔体连通的气体通道；支撑梁的一端与微镜反射镜面连接，支撑梁的另一端连接在腔体的底部。本发明，采用气体驱动，使微镜反射镜面具有较大的扭转角度，由于是单个支撑梁支撑，可以向各个方向转动，并且有限位结构，保证对微镜反射镜面的防护，消除了芯片上的驱动电路，降低加工难度，节约成本，依靠外部气源驱动，灵活性更大。