一种用于半球谐振子镀膜应力检测的专用调整架及其检测方法

一种用于半球谐振子镀膜应力检测的专用调整架及其检测方法，该调整架包括三爪卡盘、轴向与横向旋转台、二维及三维位移台和光谱共焦探头，能够牢固夹持谐振子并实现其在多个维度的精确调整与旋转，确保谐振子与旋转轴同心；检测方法包括利用球面干涉仪检测未镀膜和镀膜后的谐振子表面面型，通过七维调整架调整谐振子位置，使用拼接算法重构完整面型，比较镀膜前后的面型数据，再通过推导出的应力应变公式，计算出谐振子的应力。本发明可以直接对谐振子的镀膜热应力进行检测，不会对谐振子与薄膜造成损伤，而且具有较高的检测效率，同时保证了检测的精度。