一种耐磨型晶圆清洗装置

本发明属于芯片加工技术领域，具体公开了一种耐磨型晶圆清洗装置，包括支撑晶圆的底座、支架、清洁毛刷、安装板，所述底座两侧设有对称设置的支架，对称设置的支架之间设有安装板，安装板顶部两侧设有对称设置的两个主动轮，主动轮下方设有从动轮，支架顶部设有清洁毛刷。本发明采用上述的一种耐磨型晶圆清洗装置，结构简单，通过改变从动轮结构设计，使晶圆始终能保持在竖直的状态下清洗，清洁毛刷能够始终接触晶圆表面，清洁晶圆，避免晶圆报废，通过改变主动轮的轮齿夹角，增强主动轮的耐磨性能，延长使用寿命，降低维修成本。