一种集成定位与压力检测的三电极传感器及其制造方法

本发明涉及传感器技术领域，特别涉及一种集成定位与压力检测的三电极传感器及其制造方法，包括依次相连的电阻定位单元、垫片、压电单元、封装层；其中，电阻定位单元用于检测受力的位置；两个垫片的上部分别连接于电阻定位单元的边缘，两个垫片的下部分别于连接压电单元的边缘，使得电阻定位单元和压电单元形成空腔结构；压电单元用于检测受力的大小；本发明中的传感器可以同时采集压力位置与压力大小，具有结构简单、信号独立、性能稳定的特点，在柔性传感、医疗器械以及机器人抓取等多个前沿领域具有极大的应用潜力。