一种基于吸嘴流量监控的晶圆自动拾取与反馈控制系统

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种基于吸嘴流量监控的晶圆自动拾取与反馈控制系统，包括吸嘴流量监测模块、数据采集模块、数据处理模块、反馈控制模块、通信模块、报警模块、电源管理模块、流量传感器精度分析模块和流量异常检测模块。本发明通过实时流量监测和反馈控制机制，解决了半导体晶圆搬运和装载过程中拾取失败无法及时检测的问题，显著提升了设备的安全性与运行效率，结合低能耗、模块化设计，系统在保持操作稳定性、降低能耗和生产成本的同时，满足了高效自动化生产的需求。该系统为现代半导体制造的智能化、自动化发展提供了可靠保障，并具备广泛的应用前景和市场价值。