一种改进型RCA清洗工艺及清洗设备

本发明涉及RCA清洗的技术领域，提出了一种改进型RCA清洗工艺及清洗设备，提供了一种工艺对硅片进行RCA清洗，通过配置混酸溶液，缩减了原本需要的两个酸洗步骤，只需要一步酸洗就能够达到原有的清洁效果，整个清洗过程，大多位于室温条件下，在缩减了酸洗步骤的同时减少了化学药剂的使用，降低成本，并且又能够保证清洗质量。通过接液板，在清洗容器转移的过程中始终水平位于其底部，用于承接掉落的废液，避免废液污染台面或清洁槽，同时接液板还能够被机械臂操控，调整位置避免干涉工作台的动作，也能够在接完废液后进入清洁槽自动清洗。