基于单片集成式红外焦平面阵列探测器芯片及其设计方法

本发明公开了一种基于单片集成式红外焦平面阵列探测器芯片及其设计方法，探测器芯片包括超表面聚焦层和红外光敏芯片，所述红外光敏芯片包括光敏层、与所述光敏层连接的绝缘桥架以及与所述绝缘桥架相连的互联电极；所述超表面聚焦层将红外光聚焦到所述光敏层，所述光敏层吸收辐射能量后引起所述绝缘桥架发生形变，形变导致所述互联电极之间电流的变化，通过检测电流变化即可判定红外辐射的强度和分布。本发明结合了宽谱聚焦超表面和集成光敏结构，有效提升了光能的捕获和传输效率，增强了对不同波长红外辐射的响应能力，不仅提高了探测器的灵敏度，还具有良好的波长选择性。