一种基于垫片表面缺陷自动光学检测方法及系统

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一种基于垫片表面缺陷自动光学检测方法及系统
申请号:CN202411890036
申请日期:2024-12-20
公开号:CN119643448A
公开日期:2025-03-18
类型:发明专利
摘要
本发明涉及光学检测技术领域,尤其涉及一种基于垫片表面缺陷自动光学检测方法及系统。该方法包括以下步骤:对待检测垫片进行参数提取,获取垫片的内外径、厚度及公差范围信息,得到垫片结构参数数据;根据预设元件参数库对垫片结构参数数据进行匹配校准并存储,得到垫片元件参数库;利用视觉传感器对待检测垫片进行表面扫描,生成原始图像数据;对原始图像数据进行多通道光学成像处理,并利用高动态范围技术进行光照不均补偿,得到增强表面图像数据;对增强表面图像数据进行图像预处理,得到垫片表面检测图像数据。本发明采用多通道光学成像和高级图像处理技术,结合自适应算法,可精确识别微小缺陷,误检率和漏检率显著降低。
技术关键词
缺陷自动光学检测方法 垫片表面 表面图像数据 原始图像数据 垫片结构 图像特征数据 Hessian矩阵 光学成像 多通道 自动光学检测系统 视觉传感器 参数 二值化图像 神经网络分类 掩膜数据 拓扑特征