一种基于铜烧结工艺的芯片互联陶瓷基板的制作方法

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一种基于铜烧结工艺的芯片互联陶瓷基板的制作方法
申请号:CN202411897494
申请日期:2024-12-23
公开号:CN119764177A
公开日期:2025-04-04
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于铜烧结工艺的芯片互联陶瓷基板的制作方法。本方案采用铜烧结和DTS工艺将芯片互联于陶瓷基板,在成本方面,由于铜的价格远低于银,仅为银的几十分之一,从原材料价值角度极大地降低了成本;这在大规模生产中优势尤为突出,显著减轻了企业的材料成本压力,增强了产品在市场上的价格竞争力,为企业创造了更大的利润空间;在性能方面,铜材料与碳化硅芯片、陶瓷基板的热膨胀系数更为接近,能有效缓解热循环和功率循环状态下的热失配问题。这使得产品在不同温度环境下的可靠性和稳定性大幅提高,显著减少了因热膨胀差异导致的连接失效等问题,延长了产品的使用寿命,降低了维护成本。
技术关键词
陶瓷基板 烧结工艺 压力烧结炉 恒温干燥箱 丝网印刷设备 碳化硅芯片 贴片机 丝网模板 焊盘尺寸 铜材料 热循环 企业 利润 气氛 氮气 功率 速度