摘要
本发明涉及光伏电池ALD镀膜领域，具体的说是指一种光伏电池ALD工艺装卸片机及装卸片方法，包括固定机架。核心的搬运机采用研磨斜齿条及滚珠直线导轨，方向因为跨距较大采用三面导轨固定方式，刚性更大;伺服电机驱动斜齿轮，使搬运机构实现X、Y方向平稳运动。对来料花篮和来料工艺舟采用视觉检测，避免了因为花篮和工艺舟来料存在缺片、错槽、叠片等原因而引起的批量碎片，工艺舟和花篮之间导片采用视觉引导，杜绝因碎片残留而导致的多次批量碎片，整机稼动率更高。本发明各机构模块布局合理，占地面积小、产能大、碎片率低;工装流转清晰、流畅，实现了硅片从工艺舟到花篮之间的互相导入导出功能，大大降低了生产成本。
