HfAlOx/石墨烯/HfAlOx异质结相位调制器、制备方法及相位调制方法

本发明公开了一种HfAlOx/石墨烯/HfAlOx异质结相位调制器、制备方法及相位调制方法，该HfAlOx/石墨烯/HfAlOx异质结，采用HfAlOx作为介质材料，与石墨烯形成良好的异质结结构。HfAlOx具有较高的介电常数和良好的稳定性，能够有效地调控石墨烯的电学性质，同时避免了石墨烯与金属直接接触时的费米能级钉扎效应，提高了相位调制的效率和灵活性。整个结构长度仅800nm，远小于中红外波段的自由空间波长，实现了亚波长操作。这种小尺寸结构有利于器件的高度集成化和小型化，可应用于高密度光集成芯片、微型光传感器等领域，有助于提高系统的集成度和便携性。